二手 KLA / TENCOR 2135 / 2138 #129087 待售

KLA/TENCOR 2135/2138是一種用於識別集成電路（ICs）缺陷的掩模和晶圓檢測設備。其最先進的光學系統和圖像處理能力使設備能夠以高分辨率檢查晶片和掩模。其高靈敏度CCD相機能夠檢測和測量圖樣元件，從而快速準確地發現缺陷。KLA 2135/2138可以檢測邊緣特征、線寬、門/接觸陣列、特征內部和之間、間距、缺口和其他缺陷。它還能夠測量阿爾法間距、層的對齊方式、叠加量和尺寸公差。此外,該機器還具有使用API（應用程序編程接口）進行自定義自動化的快速、完整地表征缺陷的能力。TENCOR 2135/2138具有完全集成的計量工具,具有先進的7軸級,可讓資產通過變速運動訪問樣品的任何區域。2135/2138的能力包括檢查速度快、精度高、靈敏度高、可靠性高。此外，該模型還可以對缺陷進行自動圖像采集和分析以及缺陷審查和分類。設備的軟件支持多種操作模式，包括單層、平板、多層和OCR（光學字符識別）支持。該系統還具有滿足特定應用需求的多種選項,包括增強和邊緣選項、計量和叠加功能、高級缺陷分類和復雜性分析以及可選接口包。總體而言,KLA/TENCOR 2135/2138是一個綜合性的掩模和晶圓檢驗裝置,旨在識別IC上的缺陷。它以高精度和靈敏度提供具有先進和變速運動的高分辨率成像機。它還帶有多種軟件功能，因此用戶可以為自己的特定應用程序定制該工具。