二手 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse #166464 待售

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ID: 166464
RMA magnet assembly, model A126387 D1 Oriental Motor: 5IK40GN-AW.
MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse是一種用於制造半導體器件和MEM的濺射設備。該系統由直接和間接濺射工具組成,非常適合興奮劑、薄膜沈積和蝕刻等應用。直接濺射工具采用磁控管濺射,利用磁場電離和加速惰性氣體產生等離子體,將物質從目標濺射到基板上。這種濺射方法效率高,非常適合小批量生產運行。間接濺射工具使用卷到卷的沈積室將物料從旋轉的目標濺射到基板上。這種方法可用於大規模均勻、高質量的薄膜沈積,因為可以快速、輕松地替換目標。這兩項服務都有多種流程配方,允許輕松定制和優化以滿足需求。濺射單元還使用控制面板和軟件,允許用戶監控過程穩定性,確保晶圓處理恒定一致。MRC Eclipse既能夠充氣也能充氣氮氣濺射,容許優越的材料選擇性。該機具有自動對準功能,可方便準確地定位目標和基板在濺射室中。此外,TEL Eclipse與一系列可選模塊兼容,如反應性濺射、離子源和靜電卡盤。這樣可以提供更大的靈活性和精確度,以與各種工藝需求相抗衡。該工具還提供全自動晶圓處理資產,旨在提高生產率和減少疲勞。此模型允許預先編程的濺射過程,並且無需手動幹預即可運行。通過將最新的濺射技術與直觀的軟件相結合,Eclipse提供了可靠高效的濺射設備,可以滿足各種工藝的需求。TOKYO ELECTRON Eclipse具有低批量生產、精確對準和自動晶圓處理等高級功能,是業界專業人士理想的濺射選項。
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