二手 VARIAN E1000 #158184 待售

VARIAN E1000是一種完整的離子植入和監測設備，用於在半導體器件制造過程中產生超高純度、精確一致的摻雜譜。VARIAN E-1000系統提供了開發、選擇和優化離子植入配置文件的全面靈活性,以支持當今日益復雜的制造過程。它結合了先進的波束線電源技術和強大的控制單元以及高分辨率的產品反饋。E 1000增強的波束線功率和源配置產生了具有遠光束電流和粒子均勻性的高速性能。具有自動校準功能的可編程高壓電源可確保卓越的過程控制和可重復性,而波束線圖技術則考慮角度分布,以確保精確、可重復的波束精度。高分辨率離子束剖面圖傳感器能夠對植入物剖面圖進行精確監控,以便進行過程優化。E1000的綜合控制機器提供自動化和高效的數據處理功能,允許輕松開發、設置和優化過程。利用實時控制工具，VARIAN E 1000執行光束調制、光束拱形等自適應、動態控制功能，優化光束性能。此外，E-1000的先進多路復用能力使得各種物種的同時植入具有均勻劑量和能量。VARIAN E 1000的高分辨率產品反饋確保了可靠、一致的產品質量。其高分辨率的產品反饋系統有助於識別植入物配置文件問題和其他參數。此外,VARIAN E-1000的高級流程監控軟件允許操作員實時監控、診斷和排除梁流程問題,從而實現流程優化和改進正常運行時間。E 1000是為靈活、精確和可靠的離子植入而設計的。其強大的功能集、集成的控制資產和高分辨率的產品反饋相結合,為要求最苛刻的應用程序提供卓越的吞吐量、可重復性和產品質量。