二手 ANATECH / TECHNICS Hummer #9004968 待售

ANATECH/TECHNICS HUMMER是為最苛刻的薄膜研究和沈積應用而設計的濺射設備。該系統提供了一個可自定義的平臺,其模塊化配置可針對特定的流程需求進行定制。該單元包括一個集成濺射源、一個單源固定器、一個可調基板固定器、一個閉環腔室/過程控制監控器和一個氣體進氣機。集成濺射源設計為提供一個脈沖直流源，具有從0到300v直流電可調節的連續電源，而可調節的基板支架設計為提供移動直徑高達150 mm的基板的靈活性，具有角度晶片和基板的特殊特性。閉環腔室控制監控器允許在壓力、溫度和濺射參數等一系列條件下進行閉環實時過程控制和監控。強大的濺射源設計為提供高能輝光放電等離子體和最佳濺射屈服。濺射源可以針對特定的工藝需求進行定制，如提高膜的均勻性和高吞吐量。綜合氣體入口工具的設計使氣體易於引入，而無需額外的組件。ANATECH HUMMER資產的設計旨在最大限度地減少可能造成汙染的內部部件數量,並確保可靠可靠的流程。該模型還被設計為減少粒子形成和濺射產生非均勻性。該設備具有可調的安全參數和診斷預警系統，以確保噴霧阻滯劑或其他安全關鍵系統隨時運行。TECHNICS HUMMER單元是一個堅固可靠的濺射機，為用戶提供了對過程和濺射參數的靈活性和控制性，以達到理想的沈積效果。該工具包括一個集成的濺射源、單源固定器、可調基板固定器、閉環腔室/過程控制監控器以及氣體入口資產，使其能夠根據特定的工藝要求量身定制。集成的安全參數、診斷預警模型、可調濺射源保證了最大的可靠性和用戶滿意度。