二手 CANON / ANELVA 1060 #9135855 待售

CANON/ANELVA 1060濺射設備是一種高性能系統，設計用於在樣品上制造厚而均勻的薄膜，用於半導體加工。該裝置利用濺射（一種物理氣相沈積方法）將薄薄的材料層沈積到工件表面。CANON 1060中使用的陰極產生氣體放電，用熱能轟擊樣品表面，使表面霧化並產生所需的薄膜。ANELVA 1060是一種單磁控管濺射工具，由4 kW直流電源供電。它有兩個陶瓷外殼，可容納加工室和支撐室，並具有頂部裝載能力，便於樣品進入。加工室能夠在高達400C的溫度下工作，並能達到高達1 Pa的壓力，最大電壓為3500 V，頻率範圍為5-250 kHz。該機還包括射程為100-1000瓦的可變射頻目標電源和6級電源。1060具有多種特性，使其成為一種通用可靠的工具。它包括一個自動化的目標旋轉電動機，並且可以很容易地配置為操作多個磁體用於濺射多個目標。該工具配有一個內置氣體箱，用於提供PVD過程所需的受控大氣，以及一個粒子監測資產，用於檢測和跟蹤任何汙染沈積室的亞微米粒子，一個靜電卡盤（ESC）在處理過程中保存樣品，以及一個測量/控制裝置，用於測量和記錄溫度和壓力等參數。CANON/ANELVA 1060還具有多項安全功能，如直流電源自動關閉開關、緊急停止按鈕、電流傳感器安全切斷電路和內置緊急氣體關閉閥。這些安全措施有助於保護用戶免受潛在損壞,並確保模型功能正常。總體而言，CANON 1060是一種功能強大且可靠的濺射設備，為半導體加工在基板上制造薄層材料提供了一種通用且高效的手段。它具有多種特點，能夠實現精確的薄膜沈積和性能，內置的安全措施使其安全易用。