二手 CANON / ANELVA APT 5800 #9158870 待售

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CANON / ANELVA APT 5800
已售出
製造商
CANON / ANELVA
模型
APT 5800
ID: 9158870
PVD Systems, 8" BPSG.
CANON/ANELVA APT 5800是一種高精度、多功能的電子束處理反應器,專為沈積、蝕刻、塗層等廣泛的應用而設計。這種高性能設備是電子、光學、半導體和醫療等需要精確處理的多種行業的完美解決方案。CANON APT 5800以具有六軸控制系統的最先進的電子束槍為特色,產生高光束均勻性、近光束散度和出色的光束控制。這個引人註目的單元還包括一個通風的加熱波紋管,它可以消除顆粒汙染,同時保持極好的光束均勻性。其高分辨率的快速變化梁方形機提供了一個用戶友好的界面,快速準確的梁對準和均勻性。ANELVA APT 5800能夠同時處理多達四個不同的目標,使其高效。它還配備了先進的自動電流補償功能,以確保所有目標位置的均勻性。APT 5800配備了靜電精密滑動工具(ESP),能夠精確傾斜和旋轉電子束槍和目標,以提供卓越的處理能力。這允許在一次運行中以最短的轉換時間完成多向處理。CANON/ANELVA APT 5800還提供多種過程控制功能,如溫度控制、法拉第杯監視器和過程定時控制,這使得精確監控和控制過程的所有階段變得容易。反應堆輔以多種輔助組件,如目標定位單元(TPU)、真空泄漏檢測器(VLD)和負載鎖定資產(Lold Lock Asset,LLS),旨在確保一個一致和可預測的過程。CANON APT 5800是一種可靠、堅固的反應堆,產生優異的效果,可用於各種工業環境。此模型提供了卓越的精確度、精確度和吞吐量,使其成為任何需要一對一解決方案以滿足其處理需求的人的絕佳選擇。
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