二手 CANON / ANELVA C-7730FH #9167769 待售

CANON/ANELVA C-7730FH是一種濺射系統，旨在在基板上覆蓋各種材料的厚膜。利用高真空室和磁控管濺射進行沈積。CANON C-7730FH高度可定制,具體取決於應用和沈積材料。它具有可編程同軸系統（PCS），允許不同類型的磁控管角度。它還配備了多個沈積源，包括熱蒸發源，以允許多層沈積。ANELVA C-7730FH利用先進的Turbo分子泵（TMP）在腔室中產生真空,從而實現濺射過程。TMP能夠達到從2 x 10-3 Pa到5 x 10-5 Pa的壓力範圍，這種壓力範圍允許各種類型的沈積過程，否則無法進行。C-7730FH能夠創建1 nm至200 nm的薄膜厚度範圍。這可以通過不同電源設置下的濺射過程來實現。PCS允許在濺射時進行精確的控制，因為磁控管可以設置在腔室內不同的角度和位置。CANON/ANELVA C-7730FH包括高度的分析能力，這是先進的濺射塗層工藝所必需的。它配備了光譜儀，可以測量薄膜的成分。它還配備了石英晶體微平衡器，可以測量沈積膜的厚度和均勻性。此信息可用於微調濺射過程,以精確創建所需的膜厚度和組成。由於CANON C-7730FH具有高度的可自定義功能,因此可以針對各種應用程序進行高度調整。它能夠沈積由不同材料組成的厚膜，用於半導體器件、光學和機械元件以及其他與電子有關的元件等應用。