二手 CANON / ANELVA C-7730FH #9167770 待售

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CANON / ANELVA C-7730FH
已售出
ID: 9167770
晶圓大小: 5"
Sputtering system, 5".
CANON/ANELVA C-7730FH是為薄膜沈積而設計的濺射設備。它能夠沈積從導體到半導體以及各種光學材料的各種薄膜。CANON C-7730FH系統的核心是陰極,用於引發驅動濺射過程的電離氣體。這種電離氣體隨後被電場加速並指向目標材料。離子一旦撞擊目標材料,它們就會使材料脫落,然後沈積到下面所需的基板上。ANELVA C-7730FH是一種高效的濺射裝置,能夠長期均勻沈積物料並保持一致的濺射物料速率。C-7730FH具有多種特點,便於薄膜沈積。該機裝有可調節的旋轉濺射頭,允許將均勻的薄膜沈積到大的基板上,並且該工具裝有減少表面電子缺陷和均勻化薄膜的「防擠壓」特性。它還具有高電源,允許增加濺射功率以實現更快的生產率。另一個實際特征包括針對特定區域的各種漏鬥形狀。該資產包括一臺車載計算機,控制整個沈積周期,從目標材料的加載和濺射頭的定位,到濺射參數的選擇和配方控制。這臺計算機還能夠存儲一系列定制配方,方便調整參數以適應特定應用。CANON/ANELVA C-7730FH還包括各種診斷功能,以確保高質量控制。這包括檢測濺射功率、溫度和腔室壓力等數據的能力,以及分析沈積圖信號的能力。這樣就可以對模型進行簡單和高效的監測,並有助於確保對基板進行準確和一致的補償。CANON C-7730FH是一種多功能的濺射設備,旨在為各種應用提供高質量的薄膜沈積。它提供了高效的生產率,配備了多種功能,旨在提高沈積膜的均勻性和同質性,其車載計算機允許方便配方定制和質量控制監控。
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