二手 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9018208 待售

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1是為生產高性能表面和薄膜而設計的濺射設備。它包括一個高能離子源，該源能夠發射多達10kV個氙離子，一個高度精確的旋轉生產目標，一個用於生產目標的旋轉安裝架，一個氣體分配模塊，一個陰極，一個陽極，以及一個現代化的控制器系統。該單元的離子源經過優化，使離子對原子的發射最大化。它能夠產生極佳密度為10^14 cm-2s-1的離子束和10kV的束能量。高精度的旋轉生產目標確保了沈積在基材上的材料的均勻沈積。對於不同的表面處理，如蝕刻、沈積、清潔和基板預處理，可以精確設置和控制室內的溫度和大氣。機器還配備了氣體分配模塊，負責加工氣體的最終均勻性。氫氣、氮氣、氧氣、氙氣、氯氣和氙氣等各種氣體可以用於不同的過程，具體取決於應用和基礎材料。氣線分布由電子控制，使整個產品的氣體分布均勻。該工具還包括連接到各種外部設備的現代控制器資產。用戶友好的界面提供實時數據監控以及多種工具,可幫助用戶快速輕松地實現所需的參數。控制器模型還使用戶能夠為不同的過程編程不同的配方。CANON I-1060SVII PLUS-1非常適合通過高精度沈積、硬塗層、濺射、化學氣相沈積（CVD）和物理氣相沈積（PVD）等各種工藝在基板上濺射薄膜層。它旨在最大限度地減少殘留，優化塗層工藝。通過提供精密、控制、均勻性、精確度的理想組合，設備可用於生產多個領域的優質產品。