二手 CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9197712 待售

CANON I-1060 SV2+1是為各種研究和工業應用而設計的先進濺射設備。該系統采用先進的直流磁控管濺射技術，設計用於高均勻度的高速率薄膜沈積。它能夠以高速速率將物料從幾個目標蒸發和沈積到基板上。該單元提供了廣泛的基板尺寸和形狀，具有從平坦基板到外部圓柱形目標的幾何形狀，並且可以同時處理多達兩個不同的目標。I-1060 SV2+1機的設計提供了高精度和均勻性以及優質的薄膜結構。它由四軸自動操縱機器人工具和多磁控管直流濺射源組成。通過使用可變場旋轉磁控管濺射資產實現最優均勻性。這補充了一個可選的斜影型多目標平面磁控管濺射源。該模型具有用戶友好的觸摸動作控制（TAC）單元。這提供了簡單的操作，並允許用戶定制自己的塗層規格。它還為數據監測和數據分析提供兩個顯示器顯示。此外，I-1060 SV2+1設備能夠運行更復雜的散裝工藝，如反應性濺射、HiPIMS和多元件工藝。在安全特性方面，系統配備惰性大氣室和高真空容器屏蔽，以減少操作員和環境對濺射氣體的暴露。它還具有在超出範圍條件時停止操作的聯鎖。總之，ANELVA I-1060 SV2+1是一種先進的直流磁控管濺射裝置，設計用於提供高均勻度的高速率薄膜沈積。它具有自動化的機器人處理機和方便用戶的TAC單元，以便於操作。此外，該工具還選擇了一些安全功能，以減少操作員和環境對濺射氣體的暴露。