二手 CANON / ANELVA ILC 1012 #9103093 待售

CANON/ANELVA ILC 1012是一款高性能、多功能的濺射設備，非常適合用於半導體和薄膜器件制造。它由一個具有RF電容耦合的高功率無刷濺射系統和一個高功率、二極管放置和計算機控制的氙離子淋浴頭組成。該裝置的設計目的是提供更好的塗層、更高的薄膜沈積速率以及不同尺寸和形狀的基板之間的均勻性。CANON ILC 1012提供無陽極真空環境，均勻電場高達470V。這確保了膜沈積的最高質量，即使在非導電基板上也是如此。機器還裝有一個無氣泡的腔室，以盡量減少汙染，確保產品的均勻性。為了進一步提高薄膜均勻性，一個集成的特征允許將倒置設計快門與腔室目標掩模集成在一起，以優化基板-目標表面的沈積速率。該工具一次最多可組合鋁、鉻和的8個靶標，使其在多層次的應用中具有高度的通用性。該資產還為每個目標提供10至550瓦的可調功率,非常適合不同類型的沈積過程。此外,該模型還具有能夠識別和消除任何偏差的自動化過程模型,從而能夠對薄膜厚度和均勻性進行更好的控制。ANELVA ILC 1012還包括一個便於數據采集和過程控制的控制軟件包以及一個智能自動調節功能，可以動態控制濺射過程以保持沈積膜的恒定厚度。此外，該設備具有方便用戶的界面，並配有水冷射頻發電機以及必要的安全設備和密封件。總體而言，ILC 1012濺射系統提供了降低成本和改進工藝控制的高質量塗層，使其成為半導體和薄膜器件行業應用的絕佳選擇。