二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #9043718 待售

CANON/ANELVA ILC 1051是一種高性能的濺射設備，旨在提供對工藝參數的精確控制，讓使用者對沈積速率有完全的控制。濺射是利用等離子體源將原子轉移到基板上的過程，導致薄膜層沈積在基板表面。CANON ILC 1051系統具有易於設置和維護的主板計算機、高壓可控直流電源和頻率控制的渦輪分子泵。此外，該裝置還包括一個獨立的氣流控制器、真空計、可旋轉級、可密封真空室和遙控樣品架。使用可旋轉級時，操作員可以對最多四個基板使用一個濺射過程，並且可以獨立調整每個過程的角度。該機具有強大的射頻電源，通過多達64個可編程步驟控制濺射沈積的參數，允許用戶指定預濺射過程、沈積時間和後濺射時間。此外,直流電源允許精確且可重現的濺射速率,從而使用戶能夠準確控制沈積參數。ANELVA ILC-1051擁有一個集成的公司監控工具,其軟件用於監控濺射過程,確保濺射資產的高效操作以及跟蹤和歸檔沈積配方。ILC 1051為其用戶提供了可觀的吞吐量,通過以下方法確保更快的過程：i）保持沈積薄膜的均勻分布；ii）最大限度地減少回收時間；iii）精煉工藝周期。此外，ANELVA ILC 1051還配備了自動晶圓對準模型，提高了精度和準確性，同時減輕了操作員的工作量。總體而言，CANON ILC-1051濺射設備確保了精確、受控和可重現的濺射，使操作員能夠用金屬、電介質和其他材料的薄膜精確地制造樣品。