二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #9220143 待售

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CANON / ANELVA ILC 1051
已售出
ID: 9220143
晶圓大小: 6"
優質的: 1994
Sputtering system, 6" Air boother Cryo pump 1994 vintage.
CANON/ANELVA ILC 1051是一種最先進的濺射設備,旨在為各種應用提供卓越的濺射效果。該系統由主室、旋轉式等離子體源、主等離子體源、高頻射頻等離子體連接和一系列磁體組成。CANON ILC 1051的主室采用不銹鋼建造,使其具有耐腐蝕性和低維護性。在腔室內部,可以使用一系列的過程氣體,包括的是氙氣、氧氣和氮氣。該單元還利用一個獨特的旋轉型等離子體源與高頻射頻等離子體耦合。這種新型等離子體源產生高能粒子,與傳統的直流驅動等離子體源相比允許更有效的濺射。此外,機器還配備了磁鐵,有助於限制等離子體的擴散並提供可控的濺射速率。ANELVA ILC-1051為濺射應用提供了許多優勢。其采用不銹鋼的構造消除了頻繁維護的需要,其獨特的高頻射頻等離子體源為優越的工藝產生高能粒子。磁鐵還提供了一個簡單的方法來控制濺射目標貢獻的大小,從而改進濺射過程。此外,該工具還設計用於處理各種操作,使用戶可以輕松適應任何濺射操作。總體而言,CANON ILC-1051是用於濺射應用程序的高級資產。其高頻射頻等離子體源和磁體具有優異的濺射性能,而其不銹鋼結構的建造提供了較低的維護要求。有了這種型號,用戶可以享受到更好的質量和前體形成,以及更高的設備壽命。
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