二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #9287391 待售

CANON/ANELVA ILC 1060是一種工業濺射設備，用於蝕刻和塗覆各種材料的表面。該設備支持反應性離子蝕刻（RIE）和磁控管濺射，並以手動和自動模式運行。自成體系包括控制器、蝕刻室、目標室和獨立的遠程等離子體源。控制器允許對包括壓力、流量、溫度、電流、電壓和目標功率在內的各種參數進行精確控制和監控。蝕刻室最大內部容積為290升，包含一個渦輪泵浦密閉空間單元（TCSU）。設有兩級機械渦旋泵、渦輪分子泵機、離子束源。渦輪分子泵機用於疏散腔室，產生所需的真空狀態。離子束源用於產生所需的蝕刻等離子體。目標腔室支持單層或多層濺射，目標面積容量可達200毫米。腔室裝有隔膜泵和易於清潔的目標安裝，以及可調等離子體篩選技術，以控制離子能量和方向。該室還具有車載氣體控制功能，包括五個獨立的氣體入口和自動閥門控制。該工具獨立的遠程等離子體源允許雙極蝕刻,並且可以配置為微波激發或直流激發配置。它配備了接線盒和氣體處理資產，允許精確和可重復的過程控制。CANON ILC 1060的額定功率為75 kW，支持平面、插槽、交叉場等多種配置。適用於研究、半導體和大批量生產市場的應用。該型號具有內置的安全特性、互鎖，可以與其他CANON或ANELVA系統集成。