二手 CANON / ANELVA ILC 1060SV #181556 待售

看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。

CANON / ANELVA ILC 1060SV
已售出
ID: 181556
晶圓大小: 8"
Sputtering system, 8".
CANON/ANELVA ILC 1060SV是為各種工業和研究應用而設計的多功能濺射設備。濺射是一種涉及真空室和電離氣體的物理氣相沈積形式。在這個濺射系統中,來自目標材料的粒子被電場加速並轟擊基板,導致材料轉移到基板表面。CANON ILC 1060SV單元有幾個特點,使得它特別適合生產導電和介電材料的均勻薄膜。機器由一個真空室、兩個負載鎖和一個抽油機組成。腔室配有10千瓦電源、高功率目標資產和數字反饋監視器。目標模型由一個固定的源和一個旋轉源組成,以允許廣泛覆蓋基板上的所有角度。高功率電源能夠產生高功率輸出,從而在某些應用中轉化為更高的沈積速率。抽水設備利用一對渦輪分子抽水級和低溫泵實現10-5 Torr的真空。這使得從聚合物到金屬的各種底物都可以被濺射到上面。雙載荷鎖創建氣閘系統,並允許快速加載和更換基板。ANELVA ILC 1060 SV單元為精確層形成而設計,並配有先進的控制參數,使可重復的層達到10nm薄。這是通過允許控制基板-目標距離、源和目標功率、過程氣體壓力以及偏置電壓和電流來實現的。這臺機器的特點是它具有一個快速的進程界面,可以方便地在進程之間進行參數轉換。快速的工藝界面和精確的層形成使得該工具非常適合創建均勻的薄膜和復雜的層。ILC 1060 SV是一種多功能濺射資產,適合多種應用。憑借其先進的控制參數、精確的層形和先進的特點,非常適合需要均勻薄膜和復雜層的應用。該模型可用於生產導電材料和非導電材料的薄膜,並因其高功率能力而設計為實現高沈積速率。氣閘設備和快速的工藝界面使得基板和工藝之間的快速變化,使其適合高吞吐量的應用。總體而言,該系統是各種研究和工業應用的絕佳工具。
還沒有評論