二手 CANON / ANELVA SBH 2306DE #155740 待售

CANON/ANELVA SBH 2306DE是一種專為生產超薄膜而設計的濺射設備，是研發的理想工具。該系統配有三個磁控管陰極，最多可同時濺射三個目標。利用獨特的射頻濺射法，形成顆粒計數低的優質薄膜。陽極和陰極的排列使濺射源具有更高的沈積速率和更長的壽命。該裝置具有一個溫度控制的基板級，以便在廣泛的溫度範圍內進行高質量的沈積。CANON SBH 2306DE可用於許多沈積過程，例如制造各種類型的顯示器。它能夠生產非晶矽和其他用於光電半導體應用的薄膜，如太陽能電池和OLED顯示器。該機還適用於生產多層光學幹涉濾波器、導電絕緣膜等先進薄膜設計。該工具設計有可變壓力室和溫度控制的基板支架，兩者都保持在真空室中，以盡量減少沈積過程中的汙染物顆粒。此外，該資產在反應室中提供了可調的負壓，使得高質量的薄膜能夠沈積。此外，ANELVA SBH 2306DE使用自動、高頻、脈沖功率來維持可交換的等離子體密度和功率。其差動壓力控制模型可確保最小的設備停機時間,因為它不需要定期手動維護。該系統配備了集成的流程監視器和實時數據記錄功能，以監測沈積流程參數，顯示內置控制面板，並記錄各種參數，用於診斷。先進的可編程邏輯控制器（PLC）促進了設備的用戶友好操作，最大限度地提高了濺射機的精度和可重復性。總之，SBH 2306DE是一種非常適合薄膜制造研究、開發和生產的濺射工具。它具有卓越的薄膜質量和精確度,具有先進的控制和數據記錄功能,有助於確保薄膜的成功制造。該資產配有可調壓室、變溫基板支架和脈沖功率控制器，都有助於高效、一致和可靠的濺射。