二手 CPA / KURDEX 9900 #9053543 待售

CPA/KURDEX 9900是一種高精度、多功能的濺射設備,旨在為各種基板上的薄膜沈積提供精確可靠的工藝。它采用了先進的橫梁源設計,用於與陰極電弧沈積源進行濺射,從而實現了一系列高性能的定制薄膜沈積功能。該系統具有多種流程和流程控制功能，包括選擇編程協議和集成控制單元。本機主要由濺射室、陰極電弧源和保護外殼三部分組成。使用計算機控制的閥門進行氣體填充的濺射室在需要時具有超低的背景壓力。它還配備了現代真空工具，設計用於保持反應室內的穩定真空水平。該室還包含可調節的固定裝置，用於安裝基板，用於等離子體限制和均勻等離子體分布的護罩，均勻的氣流分布，以及為提供精確可靠的薄膜沈積過程而設計的各種其他特征。陰極電弧源是由旋轉陽極、旋轉陰極和封閉幾何組成的最先進的離子源。源產生一個濃縮的精細離子束，可以精確引導到工件上，以傳遞均勻一致的沈積通量。與反應室集成的集成控制資產，提供全方位參數來控制反應溫度、過程壓力、氧濃度、偏壓等。該源還具有多種安全特性，包括功率限制和安全關機模型。保護外殼由一個隔熱室組成，以防止觸電和防止源產生的輻射。還提供各種選擇，包括石英窗和各種盾牌，以確保操作安全。總體而言，CPA 9900是一種先進的濺射設備，專為精確可靠的薄膜沈積工藝而設計。它是一個可靠、安全的系統，設計方便操作和維護，是任何需要優質薄膜沈積工藝的工業應用的絕佳選擇。