二手 CPA / KURDEX System #182506 待售

CPA/KURDEX設備是一種用於將薄膜沈積到各種基板上的濺射CPA系統。它由附著在超高真空室的電子束槍、晶圓架、準直器、控制模組和高真空泵組成。電子束槍用於產生聚焦在真空室中目標材料上的電子。通過施加電場，電子加速到高速，轟擊目標材料，使其侵蝕和濺射掉沈積在所需基板上的材料顆粒。準直器有助於確保電子具有明確的光束大小，從而為基板提供均勻的覆蓋。晶圓支架對於保持基板靜止以及在暴露於電子束時處於完全相同的點很重要。它還負責確保基板與目標材料有適當的對準和距離。控制模塊是KURDEX單元的重要組成部分。它提供必要的參數如電壓、電流和脈沖持續時間，以確保用正確的電流量濺射材料。它還通過監測基板溫度的變化自動調整材料的濺射速率。最後，高真空泵有助於疏散腔室內的鋁，並為腔室提供連續流動的清潔和自由惰性氣體，確保電子傳播更大的距離與目標材料接觸，從而產生更大的濺射效率和更均勻的沈積。綜上所述，Machine是一種高效濺射CPA/KURDEX工具，旨在將薄膜沈積到各種基板上。它由電子束槍、晶圓架、準直器、控制模塊和高真空泵組成。CPA資產用於利用電場和明確的光束尺寸確保薄膜的均勻覆蓋和沈積。它還具有溫度控制和電流調整等自動化功能。高真空泵防止任何汙染物進入腔室，並有助於確保最大的濺射效率。