二手 CUSTOM CUSTOM #9058888 待售

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製造商
CUSTOM
模型
CUSTOM
ID: 9058888
Automated sputter cluster tool, 6"-8" Load lock chamber (1) Sputter chamber Robotics: for loading single or multiple 6" and 8" Si wafer/glass substrates Custom design with operation simulating single-chamber Endura 5500 for metal deposition Sputter chamber can be equipped by various sputter sources including AMAT standard 8" magnetrons or Quantum 8" sources Adjustable target to wafer distance Used for metal deposition Gas: Ar (oxygen or nitrogen can be added).
CUSTOM CUSTOM是一種用於將各種材料的薄膜沈積在基板上的濺射設備。它通常用於微電子、半導體、光伏等行業。該系統由一個基礎單元和一個發生濺射過程本身的腔室組成。該工藝的第一部分是向設備引入原料,如金屬或合金。這種材料然後通過電子槍進入濺射室,然後將電子釋放到源材料上。電子將材料的小塊分解,然後作為薄膜沈積在基板上。為了保證工藝的均勻性,將CUSTOM濺射機的腔室布置成圓形真空室,分為四個部分。源材料放置在四個截面中的每一個,電子從腔室的中心產生。電子和源材料的這種排列允許源材料的最佳電離,並在基板上產生均勻、一致的薄膜。一旦濺射過程完成,腔室就被疏散並用新的原料重新裝填。根據應用情況,腔室可能需要不同的條件才能獲得最佳性能。例如,在生產半導體薄膜時,該工具必須在高真空條件下運行,以確保所有工藝都不受汙染。CUSTOM CUSTOM濺射資產能夠生產多種薄膜材料,是廣泛應用的理想選擇。它還以質量和一致性著稱,因為它是為高度精確的濺射過程而設計的。在精確度至關重要的工業中,該模型能夠生產出無汙染、無缺陷的均勻薄膜,是薄膜沈積的絕佳選擇。
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