二手 Custom Sputter coater #9058402 待售
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ID: 9058402
System
Small sample
Vacuum: 5x10-7torr with 1hr of sample load
Chamber:
Bottom plate: ISO 250 baseplate, (1) Onyx-2 magnetron, capable of (3) magnetron sources
Custom top flange and lid for substrate loading
(2) ISO 160 flanges
(6) KF40 flanges available as side ports
Pumping:
HVA gate valve separates chamber from turbo pump
Watts Pneumatics Regulator: Model #: R35-01C
Varian MacroTorr Turbo V550 turbo pump
Varian TurboP ump Controller: Model #: 9699544S016
Gas flow:
MKS Mass-Flo Controller
Model #:1179A22CR1BV
Range: 200 sccm
Gas: N2
Sputter source:
Angstrom Sciences Onyx-2 Magnetron Sputtering Cathode
Model #: Onyx-2 IC STD
Maximum Sputtering Power: DC: 1kW
RF: 600 Watts
Cathode Voltage: 100 - 1500 Volts
Discharge Current: 0.1 - 2 Amps
Operating Pressure: 0.5 - 50 mTorr
Cooling Requirements:
Flow Rate at Maximum Power: 0.05 LPS
Maximum Input Termperature: 20 deg C
Maximum Input Pressure, Open Drain: 4 bar
Target:
Form: Circular/Planar
Diameter: 50.8mm
Thickness: 0.3-9.6mm
Cooling: Indirect
Magnetic Enhancement: Permanent (NdFeB) Encapsulated
Construction:
Cathode Body: OFHC Copper
Anode: 304 Stainless Steel
Insulator: CTFE
Vacuum monitoring:
Granville-Phillips Micro-Ion ATM
Granville-Phillips 275 Mini-Convectron
Power supply: AE MDX, 2.5kW with arc handling circuitry, M/N: 2224-019-A
Interface: C-more EA7-T6CL-R touch panel, 6".
Custom Sputter coater是一種專門的濺射設備，用於將一層薄薄的材料沈積到基板上。這是一個沈積過程，來自金屬靶標的原子或材料分子被加速以準直光束的形式撞擊到目標基板上並形成薄膜。濺射系統一般由真空室、磁鐵在基板周圍產生場的布置、濺射源的布置、真空泵、電源和控制器組成。濺射單元是一種物理氣相沈積（PVD）技術，其中來自目標的物質被惰性氣體離子的轟擊排出，產生中性原子的通量，在準直光束中傳播到基質。濺射氣體，包括氙氣等，可用於產生高沈積速率和薄膜均勻塗層。定制濺射塗層由金、鉻、鈦、銅、鋁等材料制成，每種材料都有不同應用的獨特特性。用於濺射塗層的真空室通常為圓柱形室，配置為在目標基板周圍產生均勻的磁場，從而產生高濺射速率。它配有用於連接基板支架、基板卡盤和目標支架的法蘭。濺射塗層的工藝可以根據材料的不同而有所不同，但典型的工藝包括用氙氣將腔室吹掃至所需的真空水平，裝載基板和目標材料，將基板和目標材料加熱到特定溫度，然後為機器供電。Sputter塗層的電源通常采用DC-DC轉換器的形式，可以提供多個輸出電壓為濺射源供電。目標材料通過陽極電路連接，其中電源連接到目標，接地通過金屬棒連接。目標電源的饋通法蘭位於發射室頂部。控制器將電源提供給濺射工具的各個組件,這些組件根據所需的參數進行調整。控制器還從濺射資產的各個部位收集數據，如溫度、功率、電壓等進行分析。定制濺射塗層可以沈積比蒸發等其他薄膜沈積技術更薄的材料層，因此非常適合需要精確層的應用。借助各種材料和精密的控制器，這些定制濺射塗層產生了高度均勻的層，具有極好的形態和再現。
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