二手 FULINTEC UBM #198709 待售

FULINTEC UBM是一種高性能濺射設備，利用磁增強離子束源將薄膜沈積到基板上。對於需要超高精度和超低汙染的應用,此系統是一個經濟高效的解決方案。該單元包括一個可定制的多軸機械臂，可根據用戶的需要手動、半自動或自動操作。此外，UBM機還包含一個內置的真空室，為沈積過程提供高壓、低溫和無氧的氣氛。該工具幾乎適用於任何需要沈積到幾乎任何基材上的應用，如玻璃、矽或精密金屬。強大的FULINTEC UBM濺射槍結合了一系列磁增強離子源，以實現層層沈積的高水平均勻性。這些磁化離子束源由高精度永磁體組成，優化後以可達60度的角度沈積材料。這可以讓使用者精確控制沈積層的形狀和大小，造成均勻的分布和沈積速度。此外，UBM資產旨在最大限度地減少向周圍環境釋放的顆粒，從而最大限度地減少汙染。再者，FULINTEC UBM與多種供料源兼容，如純氧氣、濺射槍目標材料、預塗層目標。這允許用戶根據其應用量身定制沈積過程，因為可以更改進料源以適應所需的沈積條件和準確性。易於使用的圖形用戶界面允許快速設置濺射槍參數和多軸機械臂的可選控制，允許快速準確地精確沈積多個光柵和圖案。總之，UBM是生產精密薄膜材料層的理想模型。這種濺射設備采用了強大的磁增強離子束源，以確保高沈積精度，而內置機械臂則確保沿著多軸精確運動。FULINTEC UBM系統還設計方便操作，汙染低，是許多薄膜沈積應用的理想解決方案。