二手 LEYBOLD / BALZERS ZH 620 Corona #9236460 待售
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已售出
ID: 9236460
晶圓大小: 5"
優質的: 2000
Al Fill sputter deposition system, 5"
(2) Targets
Palette: (8) Wafernests, 5"
Material: Aluminium Oxide
Simultaneous RF and DC sputtering
Bias option: Up to 300V deposition of deep flanks
Rotating magnet array option
RF Generators:
HUTTINGER PFG 2500
(2) HUTTINGER PFG 5000
Pinnacle DC power supply
BROOKS Mag-7 Robot (P/N: 201600-11)
BROOKS Marathon Express MX400 Wafer handler
BROOKS VCE6 Vacuum cassette elevator load lock
Upper matchbox: UNAXIS MBN-03-0100-0410
Lower matchbox: UNAXIS MBN-04-0100-0420
Table lift motors: DUNKERMOTOREN RE30-3-512 + TI.5V
Table rotate motors: DUNKERMOTOREN RE30-3-512 + TI.5V
2000 vintage.
LEYBOLD/BALZERS ZH 620 Corona是一種先進的濺射設備,設計用於通過一系列陰極電弧將各種材料的薄膜沈積到基板上。它是一種高度通用的工具,用於半導體的加工和開發,能夠為各種應用準備納米結構。LEYBOLD ZH 620電暈包括一個高分辨率目標室、一個緊湊的磁控管裝置、一個旋轉/傾斜蓋和一個高效的冷卻機構。高分辨率的目標腔確保了納米結構的精確加工,而磁控管的布置允許通過改變陰極弧的數量和位置來改變沈積過程。旋轉和傾斜蓋擴大了暴露角度的範圍。BALZERS ZH 620 Corona具有強大的渦輪分子泵,以確保持續供應不間斷的過程氣體。該系統還能夠產生廣泛的定制形狀,控制濺射材料的質量。ZH 620 Corona可以手動模式或半自動模式操作。這允許用戶控制的操作,以確保對沈積過程參數的精確控制。這也提供了對生產的薄膜粒度進行實時分析的可能性。LEYBOLD/BALZERS ZH 620 Corona非常高效,這要歸功於其陰極弧線的入射目標電流優化,使其成為濺射薄膜的理想選擇。此外,這臺機器適用於廣泛的應用,包括獲得透明導電氧化物(TCO)和生產塗層植入物。LEYBOLD ZH 620 Corona完全配備了安全措施,如蓋閉式互鎖單元和自動噴嘴關閉。此外,還可以監測和調整機器參數,例如泵房的工藝溫度、壓力和溫度。總之,BALZERS ZH 620電暈是一種高效可靠的濺射薄膜和納米結構的工具。配備了多種先進的功能,這臺機器允許精確的沈積過程,以確保生產的細絲的最高質量,從而節省成本和提高生產率。
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