二手 LEYBOLD / BALZERS ZV740 / AZ RFD #9205696 待售

LEYBOLD/BALZERS ZV740/AZ RFD是一種高性能、先進的物理氣相沈積（PVD）設備，設計用於濺射應用。它結合了廣泛的工藝參數、塗層沈積速率和材料兼容性。LEYBOLD ZV740/AZ RFD適用於多種不同類型的薄膜沈積（TFD）工藝。它設計用於多種行業，包括工業電子、光電、微電子，以及光電、航天、汽車、醫療等應用。BALZERS ZV740/AZ RFD利用一個6軸機器人控制的濺射室，由基板-蛤殼系統支撐。該單元具有可編程的應用速率控制和動態基板運動功能。它還包括一個觸摸面板控制器，一個腔室觀看器攝像頭，以及一個內置的電子束監控和安全傳感器。它通過流程變量日誌記錄和在線數據檢索增加了改進的流程監控功能。濺射室具有先進的工藝室設計和現成的工藝室優化。它包括一個先進的兩部分陰極機，一個可變換的目標夾緊工具，一個固定的目標持有人，氣體通道訪問，和一個工藝視圖攝像機。RF/DC和MF/DC電源提供穩定的等離子體生成和均勻的離子轟擊，以改善各種底物上的薄膜附著力和均勻性。ZV740/AZ RFD具有一系列塗層和基材,從氮化鈦（TiN）和碳納米管（CNx）到鉻（Cr）和鈦（Ti）。它具有先進的控制邏輯和自動化的過程控制，允許實時的性能監控。LEYBOLD/BALZERS ZV740/AZ RFD還具有自動化的負載鎖定和工藝室壓力控制、溫度控制以及基板與基板的匹配功能,確保所有基板上均勻的塗層和薄膜厚度。此外,LEYBOLD ZV740/AZ RFD提供各種設備配置選項,以適應移動性和使用性。它有泄漏檢測，以提醒任何真空資產退化和綜合反應蝕刻過程，以去除天然氧化物。RFD還包括一個有效和優化目標燃燒的綜合氣體管理模型。最終，BALZERS ZV740/AZ RFD為濺射應用提供了可靠、先進的物理氣相沈積設備。其創新的腔室設計，先進的工藝能力，以及全面的塗料選項，使其成為任何行業的完美選擇。