二手 LEYBOLD HERAEUS ZV 1200 #154093 待售

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ID: 154093
Vertical sputtering system Continuous substrate flow ability Carrier return track Built-on Twin-mag with AE MF Generator Substrate size is 700x750mm Modules: (2) Atmospheric (4) Transport (short mod) (2) Process (long mod), up to 12 cathodes Roots / rough pumps per module: WS2000 / D65 TMP1500 turbo Process modules have (2) turbo pumps Vacuum sensors: IM110 and Thermovac TM220 and Penningvac 411.
LEYBOLD HERAEUS ZV 1200是一種高科技濺射設備,設計用於將材料薄膜沈積到多種基板上。該系統包括一個電源、一個處理室、一個射頻發電機和一個真空裝置,以及一大堆板載控制和監測組件。ZV 1200以最大的可靠性和正常運行時間而設計,采用緊湊的機箱式設計,一個單元中包含所有必要的組件。LEYBOLD HERAEUS ZV 1200的電源可提供高達1.2kV的電源,並且可以在可變功率級別運行,從而可以精確控制濺射過程。利用可調節射頻發生器,用戶可以設置頻率、脈沖長度和占空比,允許通用和可定制的濺射過程。該工具還包含一個控制板,用戶可以控制各種可編程設置,例如濺射目標材料和其他參數。ZV 1200采用主動冷卻工藝室,旨在保持最佳濺射環境。腔室的壁襯有蒸發塗層,以盡量減少汙染,讓使用者得到純度最高的薄膜。由於主動冷卻,腔室溫度可以維持在10-15°C的範圍內,以確保最佳沈積。整個資產配備了多種傳感器,用於監控操作過程中的腔室壓力和溫度,以及其他各種參數。設計了LEYBOLD HERAEUS ZV 1200濺射模型,以確保最大程度的可靠性和正常運行時間。由於緊密集成的設計,設備有助於快速更換插槽和方便維護。所有組件都按照最新的安全標準構建,為用戶提供安心。此外,系統允許根據用戶需求配置多個工藝室配置(包括單室和雙室)。總之,ZV 1200是一種高度先進的濺射裝置,旨在提供最大的可靠性和正常運行時間。該機設計緊湊,電源強大,射頻發電機可調,工藝室主動冷卻。LEYBOLD HERAEUS ZV 1200具有各種板載傳感器和可定制設置,可為用戶提供對濺射過程的最終控制。
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