二手 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH SCM 650 #9064626 待售

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MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH SCM 650
已售出
ID: 9064626
Sputtering system with loadlock. RF/DC.
MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH SCM 650濺射設備是一種先進的物理氣相沈積(PVD)工具,用於將材料塗覆到基板上。這一過程包括一系列步驟,目標材料在真空室中汽化並沈積到基板表面。MEIVAC SCM 650濺射系統能夠沈積多種材料,包括金屬、介電層和一些半導體材料。ALCATEL SCM 650濺射機是一種緊湊型、三卷磁控管濺射機,易於安裝操作。它是為靈活操作而設計的,最多有四個獨立的濺射模塊。每個模塊都配有磁控管、高真空泵站和腔室安裝控制器。每個控制器都可以根據流程要求輕松定制。COMPTECH SCM 650濺射工具利用高壓發生器產生電離等離子體,用於將目標材料濺射成蒸氣。磁控管面板允許選擇沈積功率水平、目標到基板的距離和目標材料。這些參數可以調整以達到最佳沈積結果。SCM 650濺射資產還配有集成加熱器和真空泄漏檢測模型。加熱器有助於保持最佳基板溫度,使沈積均勻.真空泄漏檢測設備允許快速診斷和糾正任何真空泄漏。這樣可以防止任何塵埃顆粒進入系統,從而對沈積質量產生負面影響。MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH SCM 650濺射單元可用於需要具有明確均勻性的保形塗層的應用。它也與其他基板加熱技術如RTP和ALD兼容。MEIVAC SCM 650是薄膜沈積的理想工具,使其成為商業和研究實驗室的熱門選擇。
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