二手 MRC 643 #193489 待售

MRC 643是MRC有限公司設計的多功能濺射設備。它利用雙源磁控管直流電源將金屬或氧化物沈積在基板上，非常適合廣泛的應用。該系統還提供三個獨立的目標，其組合目標面積最大為800mm寬，並且可以接受直徑最大為6"的晶片和直徑最大為200mm的基板。643單元允許同時濺射單目標和多個目標，以提高生產率，並進一步使多層薄膜沈積。該機還具有可編程參數如直流電壓、氣體控制和腔室溫度的綜合工藝控制單元。此外,該工具還允許輕松調整流程參數,以適應每個應用程序的特定要求。在安全性和可靠性方面，MRC 643設計具有多種安全特性，包括內置控制資產和20元氣體監測模型。設備還包括三重顯示器和一系列警告燈，提醒操作員註意任何故障或嚴重情況。643是一個高效、健壯的系統，非常適合各種濺射沈積環境。憑借其先進的安全特性、多重濺射目標以及沈積復雜層的能力，該單元非常適合薄膜太陽能電池、生物材料塗層、集成電路塗層等應用。此外，憑借其控制單元和可調節的工藝參數，機器能夠處理多種材料的簡便和準確的一系列不同的應用。