二手 MRC 944 #9023648 待售

MRC 944是一種雙平面磁控管濺射設備，旨在為光電等高科技應用提供高性能沈積。它是一個四陰極、兩室系統，可以同時容納高功率和高速率沈積。該單元配備了先進的Glid CoplanarTM目標附件機，其集成的多頻電源允許精確的控制和靈活性。該工具能夠沈積各種薄膜，包括高純度金屬、導體、電介質、單層和多層堆棧或其組合。腔室的設計還允許各種工藝氣體，其中包括氙氣、氧氣、氮氣或其組合。944集成兩個獨立的濺射源和兩個腔室進行獨立操作。此設計提供高產能和靈活性,生產率高達1.1m2/hr。這些會議廳易於快速交換，並提供快速循環時間，提供額外的靈活性。基板裝載站可以快速高效地放置樣品。該資產專為高溫、高真空環境而設計，並配有水冷、磁性屏蔽，是高性能薄膜沈積的理想選擇。防護罩在敏感材料沈積過程中提供額外的保護。該模型還具有高級監視和控制功能,通過一系列強大的反饋循環,提高了流程的準確性和可重復性。當與存款映射和速率監測相結合時，這種設備可以進行徹底的過程控制和優化。MRC 944還具有獨特的電極位置控制系統,即使在運行過程中也能對濺射參數進行微調。這一特性保證了高精度納米級薄膜的沈積是可能的。總體而言，944是一種精密的濺射裝置，可用於制造一系列光電、光機械和其他高性能部件。這臺機器為用戶提供了可靠性、信心和靈活性,使他們能夠生產出符合其質量和性能目標的高精度薄膜。