二手 MRC / MAT-VAC 943 #9173799 待售

MRC/MAT-VAC 943是由Taga製造公司開發，用於薄膜沈積應用的多功能真空濺射設備。該系統能夠在玻璃、塑料、矽、陶瓷等基板上沈積廣泛的材料性能，具有高精度、重復性和均勻性。該單元由兩個主要組件組成：裝有陰極的主室和用於進行濺射過程的真空外殼。主室由直流電或射頻電源供電。陽極和陰極在腔內連接，基板放置在兩者之間。陽極是目標材料，陰極吸引濺射材料。主室中的壓力通過在泵的幫助下產生真空來維持。還存在一個氣體入口，用於控制室內的其他參數，如溫度、氧氣和氙氣水平。室內溫度範圍為5°C-1000 °C,壓力可從0.5 mbar-1000 mbar調節。機器的功率輸入可從0.01 A-100 A調節,頻率在1 kHz-50 kHz之間.其速度足以達到所需的濺射沈積速率。該工具設計具有安全功能，如安全聯鎖系統和帶有觸摸板輸入和詳細控制操作的氣體報警器。它還具有用戶友好的圖形用戶界面和內置的數據記錄軟件，允許用戶進行實時監控和自定義報告功能。此外，該資產采用集成真空模型設計，采用渦輪分子和擴散泵來維持高極限壓力。該設備還設計了溫度控制系統，允許用戶在沈積過程中對整個基板表面保持恒定的溫度輪廓。總之，MRC 943是一種堅固可靠的濺射裝置，具有廣泛的參數，可以調整以滿足幾乎任何薄膜沈積要求。它裝備精良，能融入射頻源、快速高端冷卻系統等先進技術進步。這臺機器非常適合任何需要高精度和可重復的高均勻度薄膜沈積的應用。