二手 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Mark II #9119500 待售

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MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Mark II
已售出
ID: 9119500
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6".
MRC/TEL/TOKYO ELECTRON MARK II光刻設備是一種用於光刻圖樣和蝕刻技術的多功能工藝解決方案。它專為各種電子束誘導和常規光刻任務而設計,如半導體器件制造和工業轉移印刷應用。該系統是在電子束光刻平臺上制造的,該平臺包括優化掃描階段、直接成像光學器件、增壓控制單元和經濟高效的先進電子設備。它采用封閉式雙磁鐵光學設計,確保了先進結構和圖案的高重復性和精確度。這使得它成為納米結構制造工藝的合適解決方案。MRC Mark II有一個基於激光二極管的書寫源,它與光學冷凝器最佳耦合,允許大圖案區域的一次曝光。這與增強的控制機器一起,在分辨率要求下提供了最高的高質量光刻膠圖像生產率。該工具還提供了通用的劑量控制界面和環境控制資產。這使用戶能夠靈活地在劑量、速度和光致抗蝕劑兼容性方面對其工藝進行實時優化。此外,TEL Mark II還配備了專門的無面罩相機模型,能夠在室內審查結構。該設備準確記錄結構的布局和橫截面,以便進一步分析。此外,該系統具有卓越的圖像對齊單元,可消除抖動和失真,確保適當的結構對齊。此外,Mark II還擁有通用的數據管理服務。這為用戶提供了在安全雲平臺上存儲其項目設置和進度報告的機會。這允許用戶從任何地理邊界訪問其數據,或存儲數據以進行存檔或備份。總體而言,TOKYO ELECTRON MARK II光刻機是一種用於生產規模應用的強大而精密的光刻解決方案。其先進的設計確保了高生產效率和準確性,同時提供了易於實施和安全的數據管理。
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