二手 OERLIKON / BALZERS Sprinter #9031245 待售

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ID: 9031245
晶圓大小: 5"
優質的: 2001
Sputtering systems, 5" Process: (1 unit) Blue-ray, (1 unit) DVD-RW (9) DVD Chambers (5) DC power (3) RF power Cathodes: ARQ21 ITO touch panel 1. ARQ21 DC 2. ARQ21 RF 3. ARQ21 RF 4. ARQ21 RF 5. ARQ21 RF 6. ARQ21 RF 7. ARQ21 DC 8. ARQ2121CS-2 9. ARQ21 DC Currently de-installed 400 V (3L+N+PE), 50/60 Hz 2001 vintage.
OERLIKON/BALZERS Sprinter濺射設備是一種先進的沈積工具,用於將薄膜塗層應用於材料。該系統旨在最大限度地提高生產速率和沈積均勻性,為高精度沈積工藝提供更高的精度。BALZERS Sprinter單元采用高真空磁控管濺射技術,將目標置於高真空室。目標周圍產生電場,使濺射區域汽化,並將材料沈積到下面的基板上。內置氣流監測機確保保持正確的壓力、流量和溫度,以達到最佳沈積條件。該工具可以在緊湊的配置中與多達十二個目標一起操作,允許同時進行多種材料沈積。可互換的目標持有者可以方便地為特定的沈積過程選擇合適的材料組合。資產的自動校準進一步確保了準確的沈積率和均勻性。OERLIKON Sprinter非常適合沈積各種材料,包括金屬、氧化物和氮化物。它還具有高通量沈積能力,是塗覆微電子元件、光學元件和醫用植入物的理想選擇。其精確的控制能力使得精確沈積復雜結構,如薄膜晶體管成為可能。該模型采用方便用戶的軟件,允許編程多達99個沈積配方。用戶還可以保存操作歷史記錄,從而方便地復制相同的沈積過程。短跑濺射設備可靠、高效、用戶友好。它非常適合高精度沈積工藝,具有較高的產率和沈積均勻性。它是先進技術產品制造商和工程師的寶貴工具。
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