二手 PERKIN ELMER 4400 #48874 待售

PERKIN ELMER 4400是一款高端濺射設備，旨在提供最先進的性能和可靠性。這套通用系統非常適合各種應用，包括半導體器件制造、高級封裝、大面積基板的功能化和納米技術。4400能夠將各種金屬、合金和氧化物濺射到各種基材上。PERKIN ELMER 4400的心臟是一個可旋轉的5目標濺射室，由兩個電子束源、兩個平面磁控管和一個可旋轉的槳組成。單獨的目標控制系統提供了設備制造所需的精確控制和高度可重復的結果。電子束系統具有精確的能量/功率控制和掃描能力，大大擴展了設備的功能。由Orion控制的陰影掩模組件可在單個運行中精確沈積多層,並提供FMDS電子顯微鏡用於精確的底物尺寸控制。4400's in-set process chamber容納各種基材尺寸達12英寸。機械設計具有五個雙活塞驅動的直線運動級，以確保對濺射室中基板位置的精確控制。一個升壓供應的高真空泵集成到機器中，能夠快速疏散並保持5.0 x 10-7 Torr的低基壓。PERKIN ELMER 4400通過閉環PID溫度控制器對基板進行精確的溫度控制。利用一系列溫度探針和高溫計，控制器可以將設定溫度保持在0.15 °C以內。冷卻是通過環繞基板的閉環水套工具實現的。4400還提供了自動化和控制的多功能軟件包。資產配有3D圖形用戶界面（GUI），用於監控沈積過程，提供壓力、氣流、溫度、電壓和電流的實時數據。該模型采用模塊化設計，具有復雜的沈積序列，可實現可相互鎖定的工藝步驟。所有這些功能結合在一起，使PERKIN ELMER 4400成為研發和生產應用的絕佳選擇。其卓越的控制和可重復性，加上堅固的設計，使其成為要求苛刻的濺射任務的最佳選擇。