二手 PERKIN ELMER 4410 #9248755 待售

PERKIN ELMER 4410是一種高效濺射設備，設計符合物理氣相沈積中最嚴格的標準。4410在單個系統中提供高速和低溫濺射沈積，能夠在一系列基板上形成薄膜塗層。該單元的腔室尺寸為125英寸x 72英寸x 14英寸，允許大方的基板尺寸進行處理。該腔室還設計有6個He氣口和2個H2O歧管，設計用於非反應性氣體的橫截面沈積。連接到真空室的是兩個濺射源之一，允許一個範圍的濺射速率跨越一個範圍的過程時間。這兩個濺射源設計用於直流電和射頻濺射沈積。兩個源都有一個基於反向偏置發生器的電弧控制和一個內部電弧檢測器機器，允許對操作進行精確控制。位於腔室內的是樣品溫度和水溫傳感器，以及具有可調夾緊力的靜電卡盤。這可以讓使用者以實驗的方式研究各種薄膜的沈積。為了加強控制，該工具還包括數據采集和自動化資產。該模型允許用戶與流程進行交互，監控真空數據，並控制樣品的原位位置。此外，設備還提供了一系列工藝分析選項。該系統還具有提高速度、靈活性和準確性的功能。這包括一個便於樣品定位的速載磁控管x-y表，一個用於工藝終端的電壓監視器和一個全濺射室屏蔽。這種設計有助於最大限度地減少氣體擴散，同時為陰極提供全面保護，從而實現高濺射速率、速率穩定性和最大工藝均勻性。PERKIN ELMER 4410的另一個有益特性是其直觀的基於圖形的圖形用戶界面，使其易於導航和控制濺射過程。此外，該單元提供了豐富的過程歷史參數和質量控制數據，使用戶能夠實時監控沈積過程。4410是高速率、先進薄膜沈積的理想選擇，提供快速加工和卓越性能。PERKIN ELMER 4410具有直觀的控制、高精度和可靠的操作標準,能夠滿足最苛刻的濺射要求。