二手 PERKIN ELMER 4450 #9089262 待售

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製造商
PERKIN ELMER
模型
4450
ID: 9089262
Sputtering system, up to 6" (3) Targets Delta configuration RF power supply DC power supply Turbo pumped load lock CTI cryopump and compressor LH D65B Dual stage vacuum pump.
PERKIN ELMER 4450是一種濺射設備,是真空系統中用於將薄膜沈積在基板上的一種工具。它使用了一種氙氣濺射槍,可調壓力範圍為5-1000 mtor,底壓為2 × 10-8 torr,最大壓力為1 × 10-2 torr。該系統可以濺射多種材料,包括金屬、半導體和氧化物。4450單元上的濺射槍電源可以是高頻交流電(HFAC)或直流電(DC)電源,能夠從0-200瓦和10-500 kHz調整功率和頻率。它還具有一個旋轉平臺,以確保材料覆蓋在基板上的均勻性。PERKIN ELMER 4450采用高公差閉環反饋技術(HTCLFT)設計,該技術可監控濺射速率,以確保一致的結果並提供對濺射過程的出色控制。它還與現有的氣體控制機兼容,可以在標準的超高真空環境中使用。濺射沈積速率可從1-1000埃/秒調節。該工具具有半自動模式,允許用戶控制濺射速率、基板偏置和基板旋轉速度。它還有一個大型頂裝爐,可容納直徑不超過8英寸的基板。4450有一個可選的二次電子探測器,可以檢測表面濺射粒子,對被濺射的材料進行詳細分析。它還能夠執行定格和步進重復濺射。對於需要高精度的工藝,PERKIN ELMER 4450是完美的選擇。其耐用的設計和直觀的控制使其長期易於使用和維護。其可調的濺射速率和基板偏差以及閉環反饋技術允許嚴格控制濺射過程,使資產成為用於研發、原型設計和生產應用的理想選擇。
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