二手 SPUTTERED FILMS INC / SFI 8600 #9211503 待售

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ID: 9211503
Cluster sputtering systems.
SPUTTERED FILMS INC/SFI 8600是為薄膜沈積而設計的PVD(物理氣相沈積)濺射設備。該系統包括一個通用的、溫度控制的、封閉的真空室以及三把磁懸浮的高速濺射槍,這些槍可以配置成以各種形狀和大小存放不同的材料。該裝置能夠將薄膜沈積到包括塑料、金屬和玻璃在內的一系列基板上。磁懸浮式火炮配備獨立脈沖直流電源,允許穩定、精確地控制濺射電流和壓力。噴槍控制很容易調節,占空比可以從1-99%調節,使濺射過程能夠針對各種底物量身定制。這些火炮還能夠以圓形軌跡旋轉和移動,將均勻的材料層沈積在平坦或彎曲的基板上。該機還配備了大容量渦輪分子泵,允許更高的泵送速度來實現更低的沈積壓力。真空室的溫度可以調節,以方便沈積過程。該室設計為提供最佳工藝條件,同時避免顆粒汙染,具有高熱負荷能力和低應力。腔室還具有較高的電離速率,在沈積過程中提供穩定的氣流動力學和低氣壓。該工具還具有負載鎖室,以進一步增強資產的溫度均勻性和水分控制。這個載荷鎖室配有高壓閥門和渦輪分子真空泵,可以快速、均勻地撤離腔室。它還包含一個基板存儲單元,允許從腔室自動進行基板裝卸。總體而言,SFI 8600是一種高度通用的濺射模型,可輕松高效地配置為將薄膜沈積到各種基板上。其精密控制的磁懸浮槍、溫控真空室、載荷鎖定室和自動基板裝載設備均結合在一起,使SPUTTERED FILMS INC 8600成為可靠高效的薄膜沈積PVD濺射系統。
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