二手 SUNIC IS-3000 #9153236 待售

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SUNIC IS-3000
已售出
製造商
SUNIC
模型
IS-3000
ID: 9153236
晶圓大小: 12"
Sputtering system, 12".
SUNIC IS-3000 Sputtering Equipment是一種先進的濺射沈積工具,設計用於制造薄膜結構時提供最高級別的過程控制。IS-3000系統由一個緊湊的濺射屏蔽室單元組成,該單元配有三個磁控管電源、三個濺射源和一個可選的基板加熱器。一個計算機控制的平臺提供實時機器控制和數據顯示與圖形用戶界面。SUNIC IS-3000的獨特設計使得可以濺射金屬、氧化物、氮化物和其他化合物等多種材料。使用可選的基板加熱器可以根據沈積材料在室溫或高溫下進行濺射,從而使用戶能夠制造形態復雜且材料性能得到改善的薄膜。加熱器的使用還可以在基板上實現大面積均勻性和均勻性。IS-3000先進的功率控制允許高度精確和可重復的過程,同時對沈積速率的均勻性和總沈積膜厚度的均勻性提供了極好的控制。這使得對表面結構和組成有更好控制的沈積層成為可能。三個獨立的濺射源使材料能夠散裝沈積或與不同的材料結合沈積,創造出更高的薄膜質量,並使較大面積的薄膜能夠沈積,並提高了薄膜比例。SUNIC IS-3000工具體積小巧、結構堅固、軟件穩定,是UV光刻和OLED器件制造的理想選擇。IS-3000支持各種基板形狀和尺寸,並具有引入口罩和基板的額外靈活性,從而使用戶能夠優化沈積過程。資產還支持整合自動化的裝卸平臺,從而降低勞動力成本,這是一個額外的好處。此外,該模型還具有監測薄膜沈積速率和質量的監測能力。SUNIC IS-3000濺射設備旨在提供對沈積過程的精確控制,以及為各種應用定制過程的靈活性。該系統的剛性結構和軟件穩定性為薄膜的沈積和制造提供了最高的質量和最小化的薄膜與底物的相互作用,使薄膜的沈積和制造具有更好的均勻性。憑借其全面的功能和配件,IS-3000是各種應用的可靠選擇。
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