二手 TRIKON / ELECTROTECH MS 6210 #178693 待售

TRIKON/ELECTOTECH MS 6210是一種高度復雜的濺射設備，設計用於將各種材料的薄膜沈積在各種基板上。該系統由超高真空室、控制器和電源組成。該腔室設計為保持真空高達1.33 x 10-6 Pa，渦輪泵速為每秒3.2升。控制器連接到電源,可以精確控制濺射過程。該單元的腔室呈圓柱形，配有頂置腔室法蘭和頂置排水口。腔室法蘭設計有三個臂和錐口，便於基板裝卸。另外還有兩個安裝在底部的氮氣端口和兩個安裝在頂部的氣體入口，提供了對機器中活動氣體流動的精確控制。腔室由四個熱電加熱器加熱，允許均勻覆蓋基板的加熱表面。真空工具由兩個渦輪分子泵、一個各種真空量表和一個離子量表組成，用於精確監測腔室的真空參數。該資產還配備了防汙染快門和粗加工閥，以盡量減少濺射膜的汙染。該模型的電源能夠為濺射源提供穩定和均勻的電源,而不管電壓和電流的變化如何。有三個具有獨立電壓和電流控制的控制通道，允許精確調整電源和濺射速率。控制器連接到電源，允許精確控制占空比、濺射速率、目標材料等濺射過程的參數。TRIKON MS 6210濺射設備能夠生產極高均勻性和表面光滑度的薄膜。薄膜還可以沈積在各種基板上，如玻璃、不銹鋼、矽，具有優異的附著力和優異的光學性能。該系統易於使用，對濺射過程提供精確控制。