二手 TRIKON Sigma FxP #9253626 待售
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已售出
ID: 9253626
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Metal deposition systems
Platen HSE MK2, 8" (P/N: TR-133072/B)
TI-Heater assy platen, 8" (P/N: 188855)
No Pumps / Chiller
Configuration:
Hot sputter etch chamber: Station 2 (DepE-HSE)
Station 0: BROOKS M800
Station 1: BROOKS VCE
Station 2: Hot sputter etch (Rack)
Station 3: Hot sputter etch (Rack)
Station 4: Deposition (Rack) TTN
Station 5: Deposition (Rack) TTN
Station 6: Deposition (Rack) ALU
Station 8: BROOKS VCE
Station 9: BROOKS Inliner
Station 10: BROOKS Top cooler
Station 11: BROOKS Buffer
(2) Load locks:
Station 1: VCEA
Station 8: VCEB
(3) Deposition chambers:
Station 3: (DepC- HU platen aluminium)
Station 4: (DepB - HiFill TTN)
Station 5: (DepA - HiFill TTN)
Pre heat chamber: Station 7
Orienter: Station 9 (In front of VCEA)
Top cooler for cooling wafers: Station 10 (In front of VCEB)
LEYBOLD CoolVac 1500 O-Ring sealed
Transport chamber
DC Power supplies for single and double rack
Turbo controller
Main computer
Main AC
RF / DC Power supplies
Chamber AC control
Temperature set point: 20°C
Resistivity set point: > 50 kΩ
Recirculating flow: 20 gpm
Recirculating pressure: 22 psi
BROOKS MAG7 Robot included
Process modules:
DepA
DepB
DepC and DepE
2001 vintage.
TRIKON Sigma FxP是為了提供等離子體蝕刻和灰化過程的精確控制而開發的蝕刻器和灰化器。它利用從蝕刻到電鍍的一個完全集成的設備，為工業和研究蝕刻器和灰燼應用提供了一個強大的工具。該系統可用於反應性離子蝕刻（RIE）、微波、反應性濺射等各種工藝，以及其他蝕刻和灰化工藝。它由真空室、微波發生器、機器人工作站、等離子體發生器、濺射源等幾個組件組成。該單元完全自動化,允許用戶為不同的蝕刻和灰化應用程序創建優化的工藝配方。Sigma FxP通過使用微波和無線電頻率的組合，從反應室中生成等離子體來運作。這個等離子體提供了一個高反應性的環境，非常適合蝕刻和灰化過程。RIE室包含石英管、散射介質、初級電極和危險氣體吸收器。微波由磁控管提供，並將能量傳遞到反應室。這種能量被用來在石英管內產生等離子體。室內氣體加壓達到理想的蝕刻和灰化條件。TRIKON Sigma FxP機器還包括一個機器人工作站,用於優化Different蝕刻和灰化過程。這允許用戶對自動進程進行編程以獲得可重復的結果。此外，該工具還具有自動氣流控制資產，用於控制氣流到反應室。總體而言,Sigma FxP模型是用於研究和工業中的蝕刻和灰化過程的有效工具。它為蝕刻和灰化過程提供了極高的精確度,並因此優化了結果。它允許用戶通過其全自動設備和自動化過程編程優化蝕刻和灰化過程。此外，該系統具有強大的氣流控制單元，有助於提供有利於蝕刻和灰化的環境。
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