二手 ULVAC Ceraus Z-1000 #9198163 待售

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ULVAC Ceraus Z-1000
已售出
製造商
ULVAC
模型
Ceraus Z-1000
ID: 9198163
晶圓大小: 6"
Sputtering systems Process: METAL.
ULVAC Ceraus Z-1000是一種高精度濺射設備,設計用於對沈積過程的特殊控制。該系統可用於將有機或無機材料薄膜應用於各種類型的基材,用於各種工業用途。主要用於電子、汽車、醫療器械和光學元件的制造。Ceraus Z-1000的目標基底距離範圍可達19英寸,並具有強大的120 kHz射頻電源,允許精確、受控的沈積過程。車載電子控制多個目標和基板類型的正時和電源,以及樣品的旋轉角度和速度。這個單元還包括一個容積高達80升的真空室。這種大體積可以提高泵送速度,降低真空操作,並為高清晰度沈積結果提供極好的電阻率。ULVAC Ceraus Z-1000還包括多種配件,如氣箱、帶多個儀表的惰性氣線、控制腔室壓力的無油高真空泵和壓力表。所有這些配件都可以一起使用,為不同類型的基材和目標材料創建多種工藝配方。再者,機器有一個內部發電機,可以用來制造偏置電壓,可以加速濺射過程。偏壓也可用於沈積後熱處理,以改變薄膜層的性質。Ceraus Z-1000還具有高級數據收集和分析功能。此工具可以連接到可以在整個沈積過程中監視數據的軟件。這樣可以精確控制過程變量,確保一致和可靠的結果。此外,這一資產可以與光發射光譜儀配對,以便進行質量檢查和即時調整。總體而言,ULVAC Ceraus Z-1000是一個特殊的模型,它提供了對濺射過程的精確控制。Ceraus Z-1000以其寬大的腔室尺寸、車載電子產品和配件,是那些希望將高品質薄膜層存放在多個行業中的人的理想設備。
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