二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9012938 待售

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ULVAC Ceraus ZX-1000
已售出
製造商
ULVAC
模型
Ceraus ZX-1000
ID: 9012938
Sputtering system.
ULVAC Ceraus ZX-1000濺射設備設計用於各種應用的薄膜沈積。利用濺射的過程,將一種惰性氣體,例如氙氣進行電離,讓粒子從目標材料中噴射出來,收集在基板上。濺射系統可用於沈積金屬、半導體、絕緣體和透明導體等不同材料。ULVAC CERAUS ZX 1000濺射單元由一個沈積室、兩個濺射槍、兩個磁控管、一個沈積室排氣和真空相關部件組成。兩支濺射炮在沈積室的相對兩側分離,具有三個170mm的可偏目標、一個圓柱形磁濾鏡和一個石英窗來查看過程。這允許不同材料的雙重沈積,磁濾器從沈積中消除任何微米粒子。控制兩個磁控管調節濺射過程的功率,沈積室排氣能夠在短時間內排出腔室。Ceraus ZX-1000濺射機使用直流磁控管電源使氙氣電離,並使用基板加熱器進行預熱處理。基板加熱器還用於維持較高的基板溫度和改善的膜性能。該工具的控制軟件允許用戶根據需要監視和調整流程參數。CERAUS ZX 1000濺射資產提供可靠和均勻的薄膜,具有可重現的特性。該模型非常適合小基板面積大、通量高的濺射基板。MF電源的堅固設計和使用為設備提供了穩定高效的運行。該系統對工藝參數進行了較好的控制,提供了良好的均勻性和較高的薄膜可重復性。ULVAC Ceraus ZX-1000濺射裝置適用於研發和生產應用。
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