二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9028395 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000是為各種薄膜沈積應用而設計的高通量多用途真空濺射設備。理想沈積氧化物、氮化物、半導體薄膜，如氧化矽、氮化矽、氮化鈦、氧化鈦。該系統具有4英寸晶圓大容量，最多三個濺射源，以及用於硬質塗層應用的大功率射頻盤式濺射槍。該機組還配備了一臺10兆瓦的射頻發電機，用於高速率沈積。ULVAC CERAUS ZX 1000的核心是它的多功能濺射沈積室。該室采用不銹鋼建造，內部容積為50升。它還有一個高真空泵機器和一個帶快門室，可以快速交換基板。該室配有磁控管濺射槍和離子輔助沈積的離子源。該工具的高功率射頻磁盤濺射槍包含在硬質塗層應用中。其最大功率輸出為1.2kW,可提供高達600A的電流。該槍安裝在可單獨調節的作業臂上，可以精確調整目標的中心坐標。該槍可在低至0.005Pa的壓力下操作，並具有0-360°的可調靶角，以滿足使用者的具體要求。Ceraus ZX-1000為濺射沈積的所有參數配備了高精度儀器測量資產。該模型采用精密測量晶體，測量功率密度、沈積速度和入射角。數據收集過程由計算機控制，可以精確控制過程參數。設備安裝有多用戶控制面板，有四種語言選項，允許多個用戶同時進行實時監控和數據收集。驅動器系統還配備了16位微處理器,可精確控制沈積速度。該單元還與PC和EPICS等一系列平臺兼容,以便輕松集成到現有軟件環境中。總而言之，CERAUS ZX 1000是一款出色的濺射機，非常適合從精密薄膜沈積到硬質塗層應用的各種工藝。它提供卓越的性能、卓越的工藝精度和吸引人的性價比。