二手 ULVAC Entron T5 #9020575 待售

ULVAC Entron T5是日本制造公司ULVAC開發的濺射設備。它是一個緊湊的自旋系統，旨在用薄膜材料覆蓋大型基板。Entron T5使用濺射過程進行操作，在該過程中，目標原子被射到基板上，從而形成薄膜層。ULVAC Entron T5配備了質量流控制器和拋物線形的單面磁控管目標。此配置提供了高效、高通量的沈積過程。該機組還包括一個最大輸出5000 W的電源單元，以確保最大薄膜質量和沈積速率。Entron T5還能夠精細控制沈積室內的溫度。這是通過強制空氣冷卻裝置和嵌入在腔室壁周圍的電加熱器來實現的。這允許精確的溫度控制,以實現可重復性和質量保證。ULVAC Entron T5還設有濺射過程監測機，可隨時監控真空壓力、功率水平和薄膜厚度。這樣便於監測沈積過程。它還配備了氣體註入裝置，允許受控地將反應性氣體引入沈積室。此外，Entron T5提供了廣泛的濺射目標，使其成為各類材料沈積要求的理想選擇。適用於金屬、合金、介電材料的沈積。再者，這種濺射工具的大腔室可以容納高達800mm × 1000mm的基板。為確保最高質量,ULVAC已將最高的精度標準納入制造過程。磁場用穩定的自動調諧電路穩定產生，超低真空過程用ULVAC先進軟件監測穩定。總體而言,ULVAC Entron T5是一種緊湊、高性能、經濟實惠的資產,可提供高效、精確的薄膜塗層。其特點使其成為各種薄膜沈積應用的理想選擇。