二手 ULVAC MLX-3000N #9236593 待售

ULVAC MLX-3000N是由世界真空技術領導者ULVAC制造的濺射設備。MLX-3000N設計用於將薄膜和塗層沈積在各種基板上,包括電子、光電和半導體。該系統利用高純度氣體的高功率濺射，制造出具有優異電學和光學特性的均勻薄膜。ULVAC MLX-3000N具有強大的濺射電源,可達2500W,以及設計用於高密度Ar/O2和Ar/N2濺射的高壓EC電源。該裝置在混合構型中使用多達三個CVD/濺射源和四個離子源，使得多組分薄膜的沈積具有比競爭系統更高的薄膜厚度精度。多源設計還允許更快的過程時間和更大的過程靈活性。機器的自動溫度控制、基板分期和現場過程監控確保了大規模生產的可重復結果。MLX-3000N還具有負載鎖定技術，以減少基板汙染和提高吞吐量。通過使用智能、自適應軟件，該工具能夠針對不同的材料和工藝參數進行自我優化。ULVAC MLX-3000N還可以很容易地與其他ULVAC技術（如電子束蒸發器和等離子體離子輔助沈積系統）相結合,創建定制的濺射系統以滿足您的確切需求。MLX-3000N具有優異的性能和可靠性,非常適合大規模生產。