二手 ULVAC MLX-3000N #9273657 待售

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ULVAC MLX-3000N
已售出
製造商
ULVAC
模型
MLX-3000N
ID: 9273657
晶圓大小: 5"
Sputtering system, 5" (3) Chambers.
ULVAC MLX-3000N是日本著名真空設備制造商ULVAC設計制造的低真空濺射設備。MLX-3000N是材料處理的多功能平臺。是一種單室、低真空濺射系統,工作壓力在0.1-5.0毫巴之間。它可用於多種應用和過程,如材料的物理沈積、氧化、氮化、退火和多層納米復合材料膜的沈積。ULVAC MLX-3000N有一個封閉式真空室,配有直驅泵,能夠從大氣壓快速疏散到所需的工作壓力。它還配備了高壓單元、部分活動SCR和手動夾緊單元,以及殘留氣體分析機。這樣就可以精確控制沈積過程,從而獲得一貫的優異效果。MLX-3000N配備了ULVAC獨特的手動夾緊工具,允許處理各種不同尺寸、形狀和材料的基板。它能夠一次處理多達四個基板,允許大量樣品通過。ULVAC MLX-3000N配備了防反射塗層(ARC)選項。這有助於防止目標在濺射過程中散熱和反射,並有助於確保均勻膜的膜厚度一致。MLX-3000N還配備了ULVAC原位監測功能,可以監測溫度、沈積率、厚度等。它還具有先進的閉環反饋控制資產,確保精確穩定的過程控制。總體而言,ULVAC MLX-3000N是材料處理應用的絕佳選擇。它的單室設計和廣泛的特點允許精確和一致的結果。其手動夾緊模型、原位監控以及先進的閉環反饋控制,使其成為需要高質量結果的客戶的理想設備。
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