二手 ULVAC MPS-8000 #9053708 待售

ULVAC MPS-8000是為生產高質量薄膜而設計的最先進的濺射設備。這種機器人濺射系統具有高精度的自動化過程控制，大尺寸的基板和方便的訪問。MPS-8000設計用於在基板和柔性圓盤上濺射高質量薄膜的縱向磁性記錄層。自動化過程控制單元提供了通量均勻性、粒子加速度、沈積速率等精確且可重復的等離子體參數。ULVAC MPS-8000具有高質量的電源和堅固可靠的組件,可實現不間斷濺射和高速處理。集成的控制機器和觸摸屏界面使得使用該工具變得容易，即使對於缺乏機器人技術經驗的用戶也是如此。MPS-8000有一個6軸機械臂，用於處理直徑不超過12英寸的大型基材，方便和精確。大型基板可以夾緊到夾具上,以便精確移動和易於操作.這使得各種形狀和尺寸的基板被濺射相同的膜質量。此外,資產還具有開放端口訪問功能,允許直接訪問基板或晶圓支架。這為維修和快速裝卸基板提供了方便進入室內的通道。尿液可調氣體淋浴和不同氣體四元數和大小的選項有利於廣泛的濺射應用。總之，ULVAC MPS-8000是一種經濟高效的濺射模型，具有高精度濺射過程的易於訪問和自動控制的特點。內置的機械臂和可調節的氣體淋浴方便大基板和各種形狀和大小的濺射。MPS-8000具有可靠、堅固的組件和用戶友好的界面,是需要高精度薄膜沈積的應用的理想選擇。