二手 ULVAC SBH-2206 #9053709 待售

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ULVAC SBH-2206
已售出
製造商
ULVAC
模型
SBH-2206
ID: 9053709
Sputtering system.
ULVAC SBH-2206是一種離子聚焦磁控管濺射設備,設計用於薄膜的連續濺射沈積。該系統提供等離子體輔助物理氣相沈積(PVD)工藝,利用離子束聚焦和定向材料作為塗層在基板上。該工藝生產出高度耐用和化學惰性的均勻薄膜。SBH-2206由一個高密度、主動冷卻、永久安裝在磁控管上的陰極、一個制造室和一系列離子源組成。該腔室包含多個基板支架,以便在大面積上有效沈積。基板支架內裝有加熱器和冷卻片,確保基板溫度均勻,薄膜質量一致。真空單元設計為保持工藝壓力小於10-4 Pa,提供穩定的濺射環境。機器裝有一個磁控管,它包含一個強大的永磁體,在陰極和基板的表面產生一個強大的磁場。這種磁場限制並加速了高能帶電的氣態粒子,導致陰極材料的高效濺射。ULVAC SBH-2206具有可調節電壓和電流水平的高性能離子源,可沈積高質量薄膜。該工具還具有爆破模式特性,可提供更高的沈積速率和更高的薄膜均勻性。此特性使用短突發操作;磁控管停用時,沈積進展在可接受的範圍內。該資產適用於多種材料,如金屬、氧化物、氮化物和碳。也可用於沈積精度高、無應力塗層的多層薄膜。SBH-2206是一個可靠和通用的濺射模型,具有良好的膜質量和均勻的沈積在工作區域。它可以用於生產各種應用的薄膜,包括半導體器件、電子、光學、儲能、醫療和航空航天。
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