二手 ULVAC SH-450H-C10 #9313937 待售

ULVAC SH-450H-C10是一種直流磁控管濺射設備，可用於制造各種材料的薄膜。它是一種三槍雙室裝置,具有強大的電源系統.該設備高度自動化,具有高級用戶界面,使操作員能夠輕松地選擇和修改濺射參數。SH-450H-C10具有較高的真空室,可承受6x10̄³ 4x10̄⁸ Pa的工作壓力。它由2.5或4 kW的強大電源提供動力,並可選擇將功率擴展到6 kW,從而實現快速濺射沈積速率。它有一個適合多種目標材料的大濺射爆破室，有三個6英寸EUV目標。該室還裝有一個4英寸晶圓兼容的鐘形罐。ULVAC SH-450H-C10有兩個光圈為方形的光學系統。第一個是帶有內部狹縫的橢圓收集器，另一個是石英晶體監視器，能夠實時監測工藝參數和質量保證。該機還有一個集成的低溫冷卻工具，以確保一個穩定的過程。此外，SH-450H-C10采用三槍機構。三門火炮中，中央頂點火炮資產有一個開槽環形磁控管，而另外兩門火炮則有隔膜扁平磁控管。該模型還提供了使用高真空腸內氣體噴射或低壓氣體罩的各種反應性氣體濺射。總體而言，ULVAC SH-450H-C10是一種功能強大、用途廣泛的直流磁濺射應用設備，如導電、半導電和介電材料薄膜的沈積。它提供了高沈積速率、低汙染、良好的吞吐量和小顆粒生成的組合，使其成為在電子、光學、納米科學和工程等多個領域進行材料沈積的理想選擇。