二手 ULVAC Z-1101 #293610445 待售

ULVAC Z-1101是用於各種塗層應用的高效濺射設備。該系統利用高頻、高功率脈沖濺射過程，利用高功率磁場產生高密度等離子體。Z-1101能夠沈積各種濺射材料，包括鈦、鋁、不銹鋼和銅。ULVAC Z-1101是一個單室、多目標濺射沈積單元，其腔室大小大約為16 "× 16" × 16"。沈積室包括一個加熱的二次電子發射（SEE）穹頂、一條排氣管和兩個可用於晶圓傳輸的頂載石英盒。Z-1101機配有高密度、高功率電源模塊、射頻濺射發生器、自動壓力控制（APC）工具和水冷裝置。ULVAC Z-1101采用磁控管濺射工藝，提供高密度等離子體和優越的濺射性能。電源模塊設計的高功率密度為0.5 kW/in3，均勻磁場為3.5特斯拉。射頻功率在0到15kWatts之間調節,可提供最大的濺射性能和出色的覆蓋範圍。射頻發電機配備了自動調頻資產，使過程能夠瞄準多種濺射材料。Z-1101的高可靠性和精確度使得它的重復和鈍化結果備受追捧。其數字化顯示確保了對過程參數的準確控制和監控。該模型具有強大的嵌入式控制器，用戶友好界面和流程數據庫，便於設備參數修改。這種濺射系統還提供了材料的均勻曝光，這可能有利於減小遮罩的尺寸和陰影效果。此外,與單目標單元相比,多目標單元可實現大面積均勻濺射的最佳覆蓋。ULVAC Z-1101還提供了廣泛的工藝能力，包括逐層沈積、離子輔助沈積、反應性濺射和氧化鈦沈積。Z-1101是需要精密塗層應用的行業的絕佳選擇,可用於汽車、顯示器、電子、平板和磁性存儲介質行業。這臺機器能夠實現較高的沈積速率，從而實現快速的生產過程和更高的吞吐量。