二手 VARIAN 3180 #156923 待售

VARIAN 3180是為各種獨特的材料處理和沈積應用而設計的濺射設備。該系統由一個電源、兩個電源、兩個處理室、兩個旋轉目標和各種可選組件組成。該源是一個電弧濺射離子源，能夠沈積導電和非導電材料，包括那些高度敏感且需要偏置、不同壓力範圍和更大功率水平的材料。該單元還具有處理脈沖操作、直流或交流操作、脈沖和電阻基板偏置的能力。電源有常規和高壓兩種型號,可分別提供多達4 kV和25 mA的功率。這兩個工藝室與源相連，每一個都有單獨的氣體管線進行壓力控制，另外還有真空、安全和氣體控制的獨立工藝連接。它們允許處理和沈積鉻、碳、鎢等材料，以及具有層間系統、多層和幾乎任何元素組合的其他材料。每個腔室都具有同時操作單個基板或多個基板的能力，可以在批量或串聯模式下使用。目標安裝在兩個加工室的每一個中，並在各自的軸上旋轉，以增加沈積材料的均勻性。本機具有極快的濺射速率，甚至可以沈積非常薄的材料層。3180 Tool還提供了多個附加選項,例如晶體監視器、多個樣品支架以及一套與真空相關的測量和控制系統。資產的整體濺射率極多，各種材料的層層非常薄。整個模型也很容易使用，具有用戶友好的界面和靈活的沈積過程之間的轉換。總體而言，VARIAN 3180濺射設備為各種材料的沈積提供了堅固可靠的平臺。多種多樣的高級功能使其極其可靠,使系統能夠用於各種關鍵任務應用程序。