二手 VARIAN 3180 #9019175 待售

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製造商
VARIAN
模型
3180
ID: 9019175
晶圓大小: 5"
Sputtering system, 5".
VARIAN 3180是一款功能強大的濺射塗層設備,具有多種附加特性和功能。它是一種用途廣泛的工具,可以用來沈積各種材料,在各種基板上制造薄膜。3180的設計目的是在濺射過程中提供最高水平的均勻性和可重復性。該系統配有電子束槍,有助於提高沈積速率,允許更快的處理時間。電子束槍還可以提高正在創建的層的均勻性。此外,該單元還具有適應性,可適應一系列工藝參數。這使用戶能夠針對更復雜的薄膜結構快速、輕松地更改參數。VARIAN 3180可用於同時濺射金屬和氧化物,允許創建多層薄膜。該機可加工尺寸為4"-6"的晶片,可處理高達4"厚的混合和增強玻璃基板。此外,該工具可達到高達0.15-0.25 µm/min的沈積速率。3180易於調節,允許用戶修改濺射氣體壓力、溫度、電流等參數。它還配備了多種工藝室,包括物理氣相沈積、高處理壓力、多目標、定向濺射。這些功能使資產能夠根據各種薄膜要求進行定制。該模型還具有許多自動化功能,如自動端點檢測和配方控制。這使用戶能夠快速、輕松地編程復雜的沈積過程。此外,設備還配備了現場清潔和其他診斷功能,有助於提高工藝質量,避免維修費用高昂的停機時間。總體而言,VARIAN 3180憑借其靈活性、速度和準確性,是濺射塗層應用的絕佳選擇。它可用於各種過程,其自動化功能使用戶能夠快速輕松地生產高質量的薄膜。
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