二手 VARIAN 3180 #9106889 待售

VARIAN 3180是一種脈沖磁控管濺射塗層設備，能夠用多種金屬和其他材料塗覆多種基板。它使用連續直流或脈沖直流以極高的速率沈積層，在某些情況下高達10,000 nm/min。該系統采用模塊化結構,可輕松集成到現有生產線和定制的設備配置中。該機裝有三個標準濺射源（DC或脈沖），包括一個專為專用塗層而設計的蒸發室。它還有兩個離子源，一個氙等離子體發生器，以及兩個額外的源，用於定制沈積。此外，該工具具有獨特的真空沈積和離子束濺射相結合的能力，可實現無與倫比的沈積特征精度和控制。通用3180能夠在各種基板上沈積層，包括金屬、玻璃、陶瓷、半導體和有機材料。對於尋求高性能濺射和塗層技術的組織來說,它是一種經濟高效的資產。VARIAN 3180具有高吞吐量、薄膜質量和提高生產速度的能力,是工業應用的理想選擇。該模型為濺射過程提供了多種先進的特性和復雜的控制算法，包括功率、脈沖速率、脈沖頻率、脈沖形狀、脈沖比、濺射持續時間、基板偏置和陰極電位。3180還配備了一個先進的監測設備，可持續監測進程，並允許快速核查和響應操作參數。此外,VARIAN 3180還配備了一個安全系統,其中包含一系列互鎖功能,可保護流程和設備免受有害事件的影響。例如，當電源故障時，安全聯鎖立即關閉電源，關閉工藝氣體供應，將壓力室提升至大氣壓。這些特性保護操作員和機器的安全免受磁控管的隨機操作。總體而言，3180由於兼具高吞吐量、可靠性能和性價比，是工業研究和試點生產線高端應用的理想工具。對於尋求資產以滿足特定應用程序需求的組織來說,這是一個極好的選擇。